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　適用于半導體工業
 
 
　特點
 

● 工業半導體凈化室的理想檢測儀器
● 更適于低濃度氣體檢測(ppm級)
● 抗干擾性強
● 盒式帶取放簡便
● 盒帶剩余量顯示
 
　規格
 
類型
臺式，可搬運型
檢測原理
光電光度學原理用于盒式紙帶
檢測盒帶
VHS型可更換盒式帶
電源和
耗電量
AC220V 50/60Hz
檢測時：35VA 供帶時：60VA
尺寸·重量
275(W)×220(H)×370(D)mm 約12Kgs
 
　檢測氣體名稱
 
檢測氣體
TLV值
檢測范圍
解析度
磷 PH3
300ppb
0-900ppb
5
四氫化硅 SiH4
5ppm
0-15ppm
0.25
乙硼烷 B2H6
100ppb
0-300ppb
5
胂 AsH3
50ppb
0-150ppb
1
乙硅烷 SiH6
5ppm
0-10ppm
0.1
硫化氫HS2
10ppm
0-100ppm
1
光氣 COCl2
100ppb
0-300ppb
2
氯氣 Cl2
0.5ppm
0-100ppb
1
硒化氫 H2Se
50ppb
0-300ppb
2
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